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SK海力士宣布業(yè)界率先完成氖氣回收技術(shù)開(kāi)發(fā)

每年可節省400億韓元
2024-04-03
來(lái)源:IT之家
關(guān)鍵詞: SK海力士 氖氣回收

4 月 2 日消息,SK 海力士于昨日宣布,已與韓半導體行業(yè)特種氣體制造商 TEMC 成功合作開(kāi)發(fā)了業(yè)界首個(gè)氖氣回收技術(shù),每年可節省 400 億韓元(當前約 2.14 億元人民幣)。

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由于地緣政治環(huán)境變化,氖氣等稀有氣體供應緊張,價(jià)格飆升。韓國另一家半導體企業(yè)三星電子也計劃在芯片生產(chǎn)中對氖氣進(jìn)行回收利用。

氖氣是準分子激光氣體的關(guān)鍵成分,對于半導體光刻工藝必不可少。而作為一種稀有氣體,氖氣化學(xué)性質(zhì)穩定,難以同其他物質(zhì)發(fā)生反應,因此可通過(guò)分離純化實(shí)現回收再利用。

利用這一特點(diǎn),SK 海力士同 TEMC 一道開(kāi)發(fā)了系列氖氣回收裝置,將光刻工藝完成后環(huán)境中的氖氣進(jìn)行收集和選擇性分離,分離后的氣體由 TEMC 方面進(jìn)行純化,重新向 SK 海力士供應。

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目前這套氖氣回收裝置的整體回收率為 72.7%,SK 海力士計劃未來(lái)將這一比例提升至 77%。

根據 SK 海力士方面的統計,該回收技術(shù)有望每年降低 400 億韓元的氖氣采購成本,并降低約 12000 噸二氧化碳當量的碳排放。


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