當前隨著科技革命和產業(yè)變革,MEMS傳感器正被廣泛應用于各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等眾多領域,需求量與日俱增,應用前景十分廣闊。
作為中國三大傳感器研發(fā)制造基地之一,蚌埠擁有華東光電集成器件研究所(中國兵器工業(yè)集團214所)、希磁科技、北方芯動聯(lián)科等一批智能傳感器研發(fā)設計制造企業(yè),組建MEMS聯(lián)合工程實驗室等一批省級以上重大研發(fā)工程,成立了安徽省智能傳感器產業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟,組建“智能傳感器制造業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟”。
近年來,蚌埠依托華東光電集成器件研究所的技術優(yōu)勢和產業(yè)化優(yōu)勢,連續(xù)出臺扶持政策,建成了MEMS核心器件產業(yè)化基地,產品包括MEMS加速度傳感器、陀螺儀以及高溫高精度壓力傳感器等;形成了智能傳感器研發(fā)設計、工藝加工、封裝測試和應用的完整產業(yè)體系,成為安徽省唯一同時擁有集成電路及MEMS生產線的城市。
2021年4月23日,2021年第四屆中國MEMS智能傳感器產業(yè)發(fā)展大會暨企業(yè)家論壇在安徽蚌埠召開。從2017年到2019年,MEMS智能傳感器產業(yè)發(fā)展大會已經連續(xù)舉辦了三屆,2020年受新冠疫情影響大會按下了暫停鍵。
第四屆大會以“凝”芯“聚力、創(chuàng)”智“未來”為主題,旨在發(fā)揮蚌埠地域匯集國家高科技研究所的優(yōu)勢,引領中國MEMS智能傳感器和集成電路產業(yè)發(fā)展,深入探討MEMS產業(yè)發(fā)展,推動業(yè)界合作交流,共贏MEMS產業(yè)新機遇。
中國工程院院士、清華大學副校長尤政通過視頻對大會致辭,他表示以MEMS為核心的智能傳感器技術是現(xiàn)代科技前沿,也是新一代信息技術的支柱之一。目前我國MEMS產業(yè)正走向發(fā)展快車道,擁有一批敢創(chuàng)敢干的技術專家和創(chuàng)新精英,涌現(xiàn)出一批有擔當、有作為的明星企業(yè),我們也清醒地認識到目前與發(fā)達國家的差異,我國中低端傳感器自動化水平較低,高端傳感器市場大部分還依賴進口,缺少自主創(chuàng)新的核心技術與產品,關鍵設備、核心原材料卡脖子問題依然嚴峻。
安徽省副省長、人工智能產業(yè)鏈鏈長張紅文在致辭中表示,MEMS是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉前沿研究領域,也是未來傳感器發(fā)展的主要方向,經過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領域之一,隨著5G、物聯(lián)網時代到來,MEMS智能傳感器正逐步取代傳統(tǒng)產品,廣泛應用于各類智能終端、智能汽車、生物醫(yī)療等眾多新興領域,在新一代信息技術、人工智能、智能裝備等領域的基礎性支撐作用日益凸顯,已經成為關乎國家核心競爭力和產業(yè)鏈、供應鏈安全的重要領域。
蚌埠市委書記黃曉武在致辭中表示,蚌埠將以此次大會為契機,全面加強政、產、學、研合作,大力實施256科創(chuàng)體系建設,全力構建集成電路核心產業(yè)集群和完整產業(yè)生態(tài),加快打造具有國際一流創(chuàng)新能力的中國傳感谷。
中國工程院院士、中國兵器首席科學家、中國兵器工業(yè)第二〇三研究所總工程師楊樹興,中國工程院院士、合肥工業(yè)大學楊善林,南京大學物理學院副教授王漱明,中國儀器儀表學會微納器件與系統(tǒng)技術分會理事長、蘇州大學機電學院院長孫立寧,中國兵工業(yè)集團器特聘首席專家高文等到會并進行主旨報告演講。
楊樹興院士在題為《MEMS慣性傳感器在彈箭領域的應用》的主旨報告中以MEMS技術發(fā)展和慣性技術融合作為切入點,闡述了MEMS慣性傳感器在國內外彈箭領域的研究背景和意義,并結合典型應用和指標體系需求分析,從五個方面對MEMS慣性傳感器在彈箭領域的應用面臨的挑戰(zhàn)和關鍵技術進行探討,并認為隨著工藝技術的不斷進步,性能將不斷提高,應用領域也會持續(xù)拓展,大規(guī)模工程使用的性價比會越來越高,必將在彈箭類武器小型化、制導化、信息化、智能化的發(fā)展過程中展現(xiàn)出更大的優(yōu)勢和活力,也為未來更廣泛和更深入的應用研究指明了發(fā)展方向。
楊善林院士在題為《互聯(lián)網與工業(yè)互聯(lián)網》的主旨報告中表示,工業(yè)互聯(lián)網不是簡單的“互聯(lián)網+工業(yè)”,以MEMS技術為主的智能傳感器是物聯(lián)網、大數(shù)據(jù)、智能制造、機器人等新興產業(yè)的核心關鍵技術之一,也是構建物聯(lián)網的重要支柱。楊善林院士強調,工業(yè)互聯(lián)網引發(fā)產業(yè)價值鏈、產品系統(tǒng)構造、生產方式、制造資源組織方式、服務模式的重大變革,對工業(yè)企業(yè)的技術創(chuàng)新體系提出重要挑戰(zhàn)。工業(yè)互聯(lián)網是工業(yè)設備與人之間,通過一組工業(yè)通信協(xié)議連接起來,借助網絡操作系統(tǒng)和網絡管理軟件等,實現(xiàn)信息傳遞與共享,從而形成的互聯(lián)網絡。在工業(yè)互聯(lián)網發(fā)展初期,要在標準體系、情感感知、通信互聯(lián)、制造智能、人機協(xié)同、基礎技術等方面取得理論與技術突破,建立支撐系統(tǒng)制造模式創(chuàng)新和商業(yè)模式創(chuàng)新以及企業(yè)生態(tài)系統(tǒng)的平臺。
王漱明副教授在題為《超構表面與超構透鏡-MOEMS的新機遇》的主旨報告中分享了超構表面與超構透鏡國際最新研究和應用場景,并提出了超構透鏡與MEMS相結合的技術發(fā)展新思路,為MEMS技術擴展應用打開了更多的探索空間。
孫立寧在題為《智能感知助力智能制造產業(yè)創(chuàng)新發(fā)展》的主旨報告中首先給出中國為什么要發(fā)展智能制造。作為一個制造大國,一是制造能力不強,還存在創(chuàng)新的空間;二是勞動力成本不斷提高,必須尋求新的制造模式。孫立寧從智能制造與智慧生活引出MEMS發(fā)展現(xiàn)狀與進展、趨勢,并提出發(fā)展建議,他認為微納器件與系統(tǒng)是智能制造與智慧生活的核心技術,MEMS向微型化、集成化、多功能化、數(shù)字化、網絡化方向發(fā)展,機器人+微納+信息、人工智能交叉融合會改變生產和生活方式,微納器件與系統(tǒng),形成巨大產業(yè)。加強基礎與創(chuàng)新研究,解決共性關鍵技術。建立產業(yè)制造平臺,機制創(chuàng)新,創(chuàng)新創(chuàng)業(yè),打造人才培養(yǎng)、多種模式創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)與產業(yè)化平臺,形成產業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈。
高文在題為《高性能MEMS傳感器工藝技術及MEMS角速率積分陀螺的最新研究進展》的主旨報告中從高性能慣性器件的特殊工藝要求開篇,闡述了214所關鍵技術突破和最新研究進展,并對國內外高性能器件作了性能對比,對MEMS陀螺儀的未來發(fā)展方向進行了展望。
祝福蚌埠MEMS的發(fā)展更“徽”煌!