MEMS及微機械加速度計可靠性研究
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：bixd
文檔大?。?span>143 K
標簽： 傳感器與數(shù)據(jù)采集
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文檔介紹：由于MEMS 器件的應(yīng)用日益頻繁, 其可靠性研究就顯得十分重要。介紹了引起可靠性問題的原因。 以微機械加速度計為例, 指出了該加速度計的可靠性問題, 以及對其可靠性測試研究的內(nèi)容。
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