基于感應耦合比率臂的高精度位移測量系統(tǒng)
所屬分類：技術論文
上傳者：aet
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文檔介紹：討論了比率測量方法的優(yōu)點，介紹了運用感應耦合比率臂和差動式電容位移傳感器設計的高精度微小位移測量系統(tǒng)。給出了一種實驗系統(tǒng)的設計例子和主要的測試結果，說明了該設計在小位移測量中的有效性。
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