在8月8日舉行的北京奧運(yùn)會(huì)開幕式上，當(dāng)一個(gè)巨幅的流動(dòng)的夢(mèng)幻般的畫卷在“鳥巢”的地面上展開時(shí)，大多數(shù)電視觀眾都會(huì)不自覺地注意到，9.2萬名現(xiàn)場(chǎng)觀眾發(fā)出不斷閃爍的燈光，讓他們就像是9.2萬個(gè)五彩的小點(diǎn)。

當(dāng)然，這些五彩的燈光并不是我們通常在那些大的運(yùn)動(dòng)賽場(chǎng)上看到的照相機(jī)的閃光燈。事實(shí)上，這種歡樂的背景是由觀眾揮舞的電子火炬形成的效果，這種基于MEMS技術(shù)的電子火炬是奧運(yùn)火炬的一種復(fù)制品。

據(jù)了解，開幕式上“鳥巢”內(nèi)的所有現(xiàn)場(chǎng)觀眾都有這樣一個(gè)電子火炬，他們?cè)趯I(yè)人員的統(tǒng)一指導(dǎo)下有節(jié)奏地?fù)]舞手中的電子火炬。

基于MEMS技術(shù)的火炬當(dāng)然不是普通的閃光，雖然人們從遠(yuǎn)處看會(huì)將它們誤以為普通的閃光。但是據(jù)該火炬的制造商美新半導(dǎo)體（無錫）有限公司CEO趙陽(yáng)表示，北京奧運(yùn)會(huì)上使用的電子火炬能夠閃現(xiàn)出不同的圖像和文字，比如福娃、象征不同運(yùn)動(dòng)項(xiàng)目的圖像、奧運(yùn)logo、北京奧運(yùn)會(huì)logo、北京歡迎你等字樣。

運(yùn)用加速傳感器，可以監(jiān)測(cè)到電子火炬揮舞時(shí)的起點(diǎn)和終點(diǎn)，在火炬的前端，有一排LED陣列，通過LED照明與其在空間中的位置同步，顯示出預(yù)先設(shè)置好的文字。

美新公司的CEO趙陽(yáng)曾在20年多前去美國(guó)普林斯頓大學(xué)攻讀的博士學(xué)位，他的導(dǎo)師是曾于1998年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)的DanielTsui教授。

官員做工作，趙陽(yáng)直到最后也不能確定中國(guó)奧組委是否同意觀眾使用這種搖擺火炬。

這項(xiàng)奧運(yùn)工程項(xiàng)目展示了美新公司對(duì)一種獨(dú)特的溫感感應(yīng)工作原理的運(yùn)用。更特別的是，這種MEMS傳感器應(yīng)用是基于熱力傳輸定律，能夠像其他具有靜態(tài)部件的加速計(jì)那樣工作。這種運(yùn)用于美新的加速計(jì)的靜態(tài)部件是一種熱氣體。

據(jù)美新公司表示，“一個(gè)單獨(dú)的熱源集中在硅芯片中心，它能夠產(chǎn)生熱梯度，因而在密封包裝中出現(xiàn)氣體密度梯度。”當(dāng)給設(shè)備添加一個(gè)外作用力（比如加速、減速、重力、振動(dòng)等），氣體會(huì)隨著包裝內(nèi)的慣性質(zhì)量而運(yùn)動(dòng)，通過對(duì)熱源周圍的溫度的監(jiān)測(cè)就能夠測(cè)出外加力。

美新公司表示，這一設(shè)計(jì)不含任何運(yùn)動(dòng)部件，因此，MEMS具有高穩(wěn)定性，趙陽(yáng)說：“現(xiàn)在，還沒有其他MEMS公司具有這樣的技術(shù)?！?/p>

標(biāo)準(zhǔn)COMS流程

更重要的是，這種技術(shù)使美新公司可以通過CMOS流程將傳感器和電子控制裝置集成在同一個(gè)芯片上，通常MEMS芯片需要特殊的晶圓廠。

美新公司宣稱，他們是第一家也是唯一一家擁有將復(fù)合信號(hào)處理電路和加速計(jì)集成在一個(gè)芯片上的技術(shù)。有了這種技術(shù)，加上這次電子火炬項(xiàng)目的經(jīng)驗(yàn)，美新公司能夠以更低的價(jià)格打開高端領(lǐng)域的的商業(yè)化MEMS產(chǎn)品之門。

由于許多MEMS芯片供應(yīng)商都在尋找更為經(jīng)濟(jì)的MEMS芯片量產(chǎn)方式，因此MEMS芯片制造商之間的競(jìng)爭(zhēng)也開始變得激烈起來。例如，幾個(gè)月前，臺(tái)積電宣布他們將全線進(jìn)入MEMS市場(chǎng)，臺(tái)積電將自己明確定位為領(lǐng)先的MEMS制造商，趙陽(yáng)表示臺(tái)積電在把美新公司作為他們主要的樣板。