近日，七星電子全資子公司北方微電子推出的Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)，成功進入中芯國際上海先進工藝生產(chǎn)線驗證。據(jù)悉，這是北方微電子繼NMC 612D硅刻蝕機之后，第二臺進入14納米工藝驗證階段的機臺。

    目前，世界范圍內集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展突飛猛進，工藝制程向更加精細化的方向發(fā)展，這對14納米工藝設備提出了更嚴苛的挑戰(zhàn)。隨著北方微電子28納米工藝設備陸續(xù)實現(xiàn)商用化，14納米工藝設備開發(fā)也取得了突破性進展。本次推出的Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)，在28納米技術基礎上，通過設計優(yōu)化，大幅提高了系統(tǒng)潔凈度，提升了機臺的可靠性。Booster A630 plus 單片退火系統(tǒng)具備雙模加熱、升溫速率高、溫度均勻性好及產(chǎn)能大等特點，工藝指標達到國際先進水平。

    七星電子方面認為，公司作為中國集成電路高端裝備的先行者，將深耕發(fā)展，開拓創(chuàng)新，加快先進工藝設備的開發(fā)速度，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展作好裝備配套支撐。