《電子技術(shù)應(yīng)用》
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為中芯國際供貨,這個半導(dǎo)體材料項目預(yù)計2022年底前竣工

2021-05-27
來源:全球半導(dǎo)體觀察
關(guān)鍵詞: 中芯國際

  據(jù)發(fā)展北京消息,位于北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)金橋科技產(chǎn)業(yè)基地的江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項目近期剛剛開工。據(jù)項目負責(zé)人介紹,目前正在進行工業(yè)廠房土方開挖,下一步將開始打樁作業(yè),預(yù)計項目將于2022年底前竣工。

  未來,江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項目將建成一條用于半導(dǎo)體、平板顯示器產(chǎn)業(yè)的高純金屬靶材及零部件生產(chǎn)線,年產(chǎn)能將達到55000件,最終實現(xiàn)超高純Al、Ti、Ta、Cu、W、Mo等靶材以及設(shè)備關(guān)鍵部件的規(guī)模生產(chǎn)與銷售。

  濺射靶材是集成電路裝配的重要基礎(chǔ)原材料。北京商報指出,至2022年底項目完成后,廠內(nèi)濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件將進入產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)階段,未來將供給中芯國際,用于半導(dǎo)體、顯示面板等裝配。

  據(jù)負責(zé)人介紹,目前,其提供的基礎(chǔ)零部件已經(jīng)基本達到國內(nèi)一流水平,靶材精度最高可實現(xiàn)5納米。

  據(jù)悉,江豐濺射靶材及濺射設(shè)備關(guān)鍵部件產(chǎn)業(yè)化項目系江豐集團落地北京的首個生產(chǎn)廠房。在此之前,江峰集團已經(jīng)在湖南益陽、廣東惠州等地建廠,供給客戶包括中芯國際、京東方等。

  資料顯示,江豐電子主要從事超大規(guī)模集成電路制造用超高純金屬材料及濺射靶材的研發(fā)生產(chǎn),起研發(fā)生產(chǎn)的超高純金屬濺射靶材填補了中國在這一領(lǐng)域的空白,結(jié)束了產(chǎn)品依賴進口的歷史,成功獲得了國際一流芯片制造廠商的認證,并在全球先端5nm FinFET (FF+)技術(shù)超大規(guī)模集成電路制造領(lǐng)域批量應(yīng)用,成為電子材料領(lǐng)域成功參與國際市場競爭的中國力量。

 


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