10 月 20 日消息，全球四大半導(dǎo)體制造設(shè)備傳統(tǒng)巨頭之一的 TEL 日本當(dāng)?shù)貢r間 15 日宣布其位于九州地區(qū)熊本縣合志市的新工藝開發(fā)大樓正式竣工，將投入涂布顯影和清洗系統(tǒng)的研發(fā)工作。
TEL 的這棟新建筑共有地上四層，總建筑面積約 2.7 萬平方米，設(shè)有用于技術(shù)演示的半導(dǎo)體級潔凈室，建設(shè)成本約 470 億日元（注：現(xiàn)匯率約合 22.24 億元人民幣），大幅增強(qiáng)了 TEL 在熊本縣半導(dǎo)體集群區(qū)域的開發(fā)能力。
TEL 九州公司總裁林伸一表示，這一新項目將開發(fā)著眼于 1nm 及更先進(jìn)制程的半導(dǎo)體設(shè)備。TEL 在涂布顯影領(lǐng)域全球市場份額第一，清洗領(lǐng)域的市占也排在全球第二。
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