電子專用設備是重大裝備制造業(yè)的重要分支，是電子信息" title="電子信息">電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)技術和工藝技術的高度融合，處于電子信息產(chǎn)業(yè)鏈最高端。電子專用設備產(chǎn)業(yè)基礎性強、關聯(lián)度高，是半導體產(chǎn)業(yè)中技術難度最大、附加值和進入門檻最高的領域，決定著一個國家或地區(qū)電子信息產(chǎn)品制造業(yè)的整體水平，也是電子信息產(chǎn)業(yè)綜合實力的重要標志。

　　“十一五”回顧

　　·電子專用設備國內(nèi)市場環(huán)境不斷優(yōu)化

　　·我國企業(yè)自主創(chuàng)新" title="自主創(chuàng)新">自主創(chuàng)新能力仍然薄弱

　　·國產(chǎn)設備可靠性仍存在問題

　　政策扶持力度加大

　　“十一五”期間，我國電子專用設備產(chǎn)業(yè)得到快速發(fā)展，銷售收入預計年均增長率達到22%左右。由于受到國際金融危機的影響，雖然沒有能達到電子專用設備“十一五”專項規(guī)劃的發(fā)展速度(25%)，但仍然是電子信息產(chǎn)業(yè)中增長較快的行業(yè)之一。根據(jù)國家統(tǒng)計局提供的數(shù)據(jù)，2009年我國電子專用設備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)銷售收入1000億元，占當年電子信息產(chǎn)業(yè)總銷售收入的2%。

　　“十一五”期間在光伏產(chǎn)業(yè)市場的推動下，我國晶硅太陽能電池設備年均增長率達到49.8%，成為電子專用設備各類產(chǎn)品中發(fā)展最快、也是在電子專用設備產(chǎn)業(yè)中占比重最大的一類產(chǎn)品。

　　在電子專用設備領域，我國的產(chǎn)業(yè)政策得到有效貫徹，市場環(huán)境不斷優(yōu)化。

　　2008年4月23日國務院審議并原則通過“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(02專項)。集成電路關鍵設備的研發(fā)從此進入全面實施階段。該專項的實施，不僅將打破我國高端集成電路設備完全依賴進口的狀況，而且還將帶動我國電子專用設備技術的提升和結構的調(diào)整。

　　2006年6月，國務院常務會議通過《國務院關于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》，并將集成電路關鍵設備、新型平板顯示器件生產(chǎn)設備、電子元器件生產(chǎn)設備、無鉛工藝的整機裝聯(lián)設備列入了國家重大技術裝備中，加大了政策支持和引導力度，鼓勵國產(chǎn)重大技術裝備訂購和使用，為其創(chuàng)造了有利的市場環(huán)境。

　　大企業(yè)集團初步形成

　　在“十一五”期間，我國電子專用設備領域的大企業(yè)集團初步形成。以銷售收入計，行業(yè)10強入圍的門檻從2006年的1.89億元增加到2009 年的3.13億元；行業(yè)十強2010年利稅總額將超過10億元；到2010年底，預計電子專用設備銷售收入超過10億元的企業(yè)有兩家。

　　與此同時，企業(yè)的自主研發(fā)進程加快，以企業(yè)為主體的創(chuàng)新體系初步建立。“十一五”以來，行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)通過吸收國內(nèi)外的高科技人才，加強與高校、科研單位的合作，在關鍵設備和開發(fā)中避開已有的國外專利，開發(fā)出一批技術含量高、性能穩(wěn)定、具有自主知識產(chǎn)權的產(chǎn)品，初步建立起了以企業(yè)為主體的技術創(chuàng)新體系。

　　在太陽能光伏領域，具有自主知識產(chǎn)權的晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線設備基本實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，并可承擔“交鑰匙”工程。不僅使該領域專用設備產(chǎn)業(yè)快速增長，也大大推動了我國光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　在集成電路芯片生產(chǎn)領域，關鍵技術取得突破。在國家863計劃和02專項的支持下，一批具有自主知識產(chǎn)權的集成電路設備進入了大生產(chǎn)線，并實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化。其中包括：90/65納米介質(zhì)刻蝕機、100納米高密度等離子體刻蝕機、大角度離子注入機、8英寸立式擴散爐、8英寸勻膠顯影設備、45納米 12英寸單片清洗設備和130納米級集成電路光掩模清洗設備。

　　無鉛焊接設備產(chǎn)業(yè)化為低碳經(jīng)濟作出了貢獻。在“十一五”期間，經(jīng)過不斷創(chuàng)新，使得我國目前的無鉛焊接設備達到了國際先進水平，成為我國SMT設備市場中最具競爭力的產(chǎn)品。

　　自主創(chuàng)新能力仍待增強

　　從目前的情況看，我國電子專用設備產(chǎn)業(yè)仍存在一些問題。

　　2009年我國電子專用設備產(chǎn)業(yè)銷售收入僅占我國電子信息產(chǎn)業(yè)總銷售收入的2%，這和我國電子信息產(chǎn)品生產(chǎn)大國的地位是不相稱的，特別是集成電路設備、平板顯示器設備、發(fā)光二極管設備和表面貼裝設備中的關鍵設備大部分仍然需要依賴進口，這也將是我國走向電子強國的一大障礙。

　　我國企業(yè)自主創(chuàng)新的能力薄弱，高端新設備開發(fā)難度大。目前電子專用設備的開發(fā)主要依靠消化吸收國外先進的設備，避開國外的設備專利，這不僅增加了新設備開發(fā)的難度，而且也很難超過國外先進設備的水平。

　　我國成套生產(chǎn)線提供能力尚顯不足。在“十一五”期間，我國晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線設備除個別設備需要引進外，大部分設備已經(jīng)實現(xiàn)國產(chǎn)化，并且可以承擔成套生產(chǎn)線的“交鑰匙”工程，使我國太陽能電池設備在“十一五”期間得到了快速的發(fā)展。不過，集成電路、平板顯示器、發(fā)光二極管等生產(chǎn)線設備，雖然有些設備也進入了生產(chǎn)線，但是大部分生產(chǎn)線設備還需依靠進口，并且國產(chǎn)設備與進口設備在生產(chǎn)工藝上的配合，也成為難點。因此，這些設備的推廣進展較慢。

　　國產(chǎn)設備有的性價比雖高，但與國外先進設備相比，普遍存在可靠性較低的問題。在通常情況下，國產(chǎn)設備大的故障不多，但小的故障不少。提高設備可靠性是我國電子專用設備發(fā)展的當務之急。

 　　設備的開發(fā)與產(chǎn)品的制造工藝脫節(jié)，影響了新產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化的進程。當前，很多新設備開發(fā)必須依靠用戶提供生產(chǎn)工藝來配合，而一般用戶不愿意為新開發(fā)的設備做這種試驗，或者會提出很嚴格的條件，使設備產(chǎn)業(yè)化的進程緩慢。

　　“十二五”思路

　　·“十二五”期間電子專用設備銷售收入年均增長率將保持20%

　　·擴大內(nèi)需是拉動我國電子專用設備產(chǎn)業(yè)最有效的措施

　　·企業(yè)應加大研發(fā)投入，加快高端人才培養(yǎng)和引進

　　國內(nèi)市占率力爭30%

　　在“十二五”期間，電子專用設備產(chǎn)業(yè)應著眼于優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結構，著力加強自主創(chuàng)新，繼續(xù)擴大國內(nèi)市場占有率，為我國電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支撐，為實現(xiàn)電子強國目標奠定堅實的基礎。

　　同時，電子專用設備產(chǎn)業(yè)應明確其發(fā)展思路。首先，要走市場化發(fā)展道路，推動大企業(yè)的發(fā)展；其次，要廣泛吸引人才，加強以企業(yè)為主體的自主創(chuàng)新體系建設；再次，要培育新的競爭優(yōu)勢和新的增長點，不斷調(diào)整優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結構；最后，還要推進設備節(jié)能降耗，促進電子產(chǎn)品的綠色制造。

　　在“十二五”期間，電子專用設備產(chǎn)業(yè)銷售收入將保持年均20%的增長速度，利稅也將保持同步增長。就市場占有率而言，到“十二五”末，電子專用設備國內(nèi)市場占有率爭取達到30%左右。其中：太陽能電池設備達到90%；片式元件設備、凈化設備、環(huán)境試驗設備達到80%；LED設備、表面貼裝設備達到30%；集成電路設備、LCD設備爭取達到10%。在技術創(chuàng)新方面，到“十二五”末，以企業(yè)為主體的科技創(chuàng)新體系應基本形成，爭取將電子專用設備產(chǎn)業(yè)與國際先進水平的整體相對差距縮短到5年。其中：晶硅太陽能電池設備將達到國際先進水平；表面貼裝設備除自動貼片機外，其他設備也將達到國際先進水平；集成電路后封裝設備、LCD后工序設備、LED設備(除MOCVD外)、片式元件設備、凈化設備、環(huán)境試驗設備將接近國際先進水平。到“十二五”末，培育5家左右電子專用設備年銷售收入超過10億元并具有國際競爭力的大企業(yè)。

　　65納米設備應實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化

　　針對不同的應用領域，電子專用設備也應有不同的發(fā)展重點。

　　在集成電路領域，設備的發(fā)展重點應包括：8英寸90納米集成電路可以交鑰匙的生產(chǎn)線設備，12英寸65納米集成電路關鍵設備的產(chǎn)業(yè)化，8英寸半導體級單晶生長、切割、磨片、拋光設備產(chǎn)業(yè)化，12英寸半導體級單晶生長設備。

　　在太陽能電池芯片生產(chǎn)領域，設備的發(fā)展重點應包括：8～12英寸太陽能級多晶硅、單晶硅的生長，切割、加工設備產(chǎn)業(yè)化，全自動晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設備，銅銦鎵硒薄膜太陽能生產(chǎn)設備。

　　在高亮度LED領域，設備的發(fā)展重點應包括：芯片襯底單晶生長、切割、磨片、拋光設備，芯片生產(chǎn)線設備和后封裝設備。

　　在新型元件領域，設備的發(fā)展重點應包括：高性能稀土永磁元件生產(chǎn)設備、高儲能鋰離子電池生產(chǎn)設備、金屬化超薄膜電力電容器生產(chǎn)設備、超小型片式元件生產(chǎn)設備和高密度印制電路板生產(chǎn)設備。

　　在表面貼裝設備領域，則應重點發(fā)展高精密鋼網(wǎng)自動印刷機，高速、多功能自動貼片機，無鉛再流焊機以及高精度光學檢測設備。

　　在“十二五”期間，我國電子專用設備的市場主要在國內(nèi)，因此擴大內(nèi)需是拉動我國電子專用設備產(chǎn)業(yè)最有效的措施。如：加快太陽能電站建設的進程，改變中國光伏業(yè)主要依賴國外市場的被動局面，這將推動中國半導體設備的發(fā)展。

　　企業(yè)應加大研發(fā)投入，加快高端人才培養(yǎng)和引進，進一步完善以企業(yè)為主體的創(chuàng)新體系，大力提高自主創(chuàng)新能力。同時，要關注市場變化，加快調(diào)整產(chǎn)品結構。

　　設備制造企業(yè)要加快產(chǎn)品生產(chǎn)試驗線和實驗室的建設，實現(xiàn)設備制造企業(yè)在提供設備的同時可以提供產(chǎn)品的先進制造工藝。