基于高精度采樣和控制系統的掃描電子顯微鏡高壓高穩定電源
所屬分類(lèi):技術(shù)論文
上傳者:wwei
文檔大?。?span>4100 K
標簽: 高壓直流電源 Sigma-Delta ADC 高精度分壓器
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文檔介紹:針對掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscopy,SEM)高分辨率和全天候工作的嚴格要求,提出并研制了具備高穩定度以及絕緣性能優(yōu)良的200 kV高穩定性高壓直流電源。實(shí)驗表明該系統能達到3.42‰的開(kāi)關(guān)紋波和2.45‰的工頻紋波,每小時(shí)的長(cháng)期穩定性達到0.093‰~0.158‰,能夠滿(mǎn)足SEM對紋波和穩定性的要求。
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