旺矽科技（MPI）攜手羅德史瓦茲（Rohde & Schwarz,R&S）建置高精度晶圓研發(fā)測(cè)試解決方案，其中包含了 MPI晶圓探針臺(tái)系統(tǒng)與QAlibria校正軟體，提供射頻與毫米波元件及積體電路（IC）研發(fā)人員從校正（calibration）、模擬（modelling）、設(shè)計(jì)、驗(yàn)證到除錯(cuò)等完整的晶圓研發(fā)測(cè)試解決方案；進(jìn)一步確保半導(dǎo)體元件的品質(zhì)與可靠度，避免后段制程中構(gòu)裝成本的浪費(fèi)。
       旺矽科技晶圓探針臺(tái)系統(tǒng)與TITAN新一代RF探針系列，攜手R&S建置高精度晶圓研發(fā)測(cè)試解決方案。
       旺矽科技致力于全球微電子產(chǎn)業(yè)微接觸量測(cè)技術(shù)，長(zhǎng)期秉持提供先進(jìn)制程技術(shù)與優(yōu)質(zhì)客戶(hù)服務(wù)為理念。在復(fù)雜度與日俱增的奈米制程和時(shí)間與成本的雙重壓力下，晶圓的設(shè)計(jì)、測(cè)試與驗(yàn)證已成為一大挑戰(zhàn)；旺矽推出全新的MPI晶圓探針臺(tái)系統(tǒng)以呼應(yīng)市場(chǎng)需求，此探針臺(tái)系統(tǒng)為兼具了易于操作與高準(zhǔn)確度的手動(dòng)測(cè)試平臺(tái)，并注入多項(xiàng)獨(dú)特的設(shè)計(jì)概念。此外，旺矽攜手羅德史瓦茲（Rohde & Schwarz, R&S）打造了QAlibria校正軟體，此軟體可直接安裝于R&S ZVA 高階向量網(wǎng)路分析儀中進(jìn)行 S 參數(shù)量測(cè)，將大幅提升測(cè)試準(zhǔn)確度并加速射頻電路設(shè)計(jì)。
       MPI晶圓探針臺(tái)系統(tǒng)的氣靜壓載臺(tái)設(shè)計(jì)，采用了單臂氣浮式控制，大幅加速XY軸定位與晶圓裝載速度，精確度可達(dá) 25x25mm XY-Theta 微米移動(dòng)。在平臺(tái)升降的設(shè)計(jì)上，可達(dá) 1μm 的高精確度，采接觸（Contact）、分離（Separation）到裝載（Loading, 3mm）三段式設(shè)計(jì)，并配備安全鎖避免意外發(fā)生造成探頭或晶圓的損壞。精巧且剛性的平臺(tái)設(shè)計(jì)，最多可容納 10 個(gè) DC 或 4 個(gè) RF 微定位，滿足各種不同的應(yīng)用需求。
       MPI提供了多種晶圓載臺(tái)選擇，包括了 MPI 同軸載臺(tái)（coaxial chucks）、三軸載臺(tái)（triaxial chucks）及支援量測(cè)溫度達(dá)攝氏300度的多種ERS升溫載臺(tái)（thermal chucks），并可與熱感應(yīng)器無(wú)縫整合；RF載臺(tái)則包含了兩個(gè)內(nèi)建陶瓷材質(zhì)的輔助載臺(tái)供校正片使用，以提供準(zhǔn)確的RF校正。此外，MPI探針臺(tái)系統(tǒng)提供了多種顯微鏡調(diào)節(jié)基座的選擇，并支援達(dá) 90度傾斜或透過(guò)氣動(dòng)控制、以及線性 Z 軸升降；適用于一般 DC/CV 的應(yīng)用或 MPI SZ10 / MZ12 于 RF 的配置，甚至可以搭配如 Mitutoyo FS70 或 PSM-1000 高倍率觀測(cè)顯微鏡進(jìn)行錯(cuò)誤分析（Failure Analysis）應(yīng)用。MPI 亦提供減震底座與EMI遮蔽暗室（Dark Box）供客戶(hù)進(jìn)行選配。
       旺矽與R&S攜手打造的 MPI QAlibria免費(fèi)校正軟體，可直接安裝于R&S ZVA 高階向量網(wǎng)路分析儀中，進(jìn)行精確且可重復(fù)的 S 參數(shù)量測(cè)，快速掌握元件的集膚效應(yīng)（Skin Effect）和介電損耗，精確地搜集更高階的諧波（Harmonic）頻率等測(cè)試數(shù)據(jù)。R&S ZVA支援頻率范圍達(dá) 110GHz，極高的動(dòng)態(tài)范圍與輸出功率及快速的量測(cè)速度，為毫米波頻段主動(dòng)及被動(dòng)元件量測(cè)的最佳解決方案；透過(guò)搭配 R&SR毫米波轉(zhuǎn)換器可延伸R&S ZVA頻率范圍至 500 GHz。R&SRZVA 于晶圓量測(cè)上，可同時(shí)搭配 4 個(gè)頻率轉(zhuǎn)換器進(jìn)行毫米波差動(dòng)量測(cè)。R&S ZVA 亦可執(zhí)行微波頻段之混頻器（Mixer）及脈沖量測(cè)。
       此外，旺矽推出全新的MPI TITAN新一代RF探針系列，以專(zhuān)利的探針尖設(shè)計(jì)，可提供MEMS接觸點(diǎn)（tip）匹配達(dá)50 Ohm。其高功率機(jī)種可供主被動(dòng)RF高功率元件測(cè)試，在-60至+200的溫度下可提供10 W輸出功率、2A直流電、與250 V 電壓。于單端或雙尖的測(cè)試配置下，支援50 ~ 1250 微米（micron）的探針距離、頻率范圍為26 ~ 110 GHz。MPI TITAN新一代RF探針為晶圓S參數(shù)量測(cè)的首選，亦可應(yīng)用于110 GHz 微波元件與線路測(cè)試。
       MPI晶圓探針臺(tái)系統(tǒng)包含了數(shù)種測(cè)試解決方案機(jī)種- MPI TS50, TS150, TS200 與TS300，分別支援50、150、200與300mm 基體和晶圓的精密分析，適用于錯(cuò)誤分析、設(shè)計(jì)驗(yàn)證與 IC 工程、晶元級(jí)可靠度驗(yàn)證、MEMS、高功率元件與裝置的特性測(cè)試與模擬。