《電子技術(shù)應(yīng)用》
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超薄納米材料有望實(shí)現(xiàn)超高精度致動(dòng)器與傳感器

2016-08-09

  原子是人類目前能夠“操作”的物質(zhì)極限。依靠人類的無(wú)與倫比的洞察力和巧奪天工的手藝,不僅可以通過(guò)電子“看到”單個(gè)原子,甚至可以操控單個(gè)原子,其操作精度已經(jīng)達(dá)到1納米以下。即使如此,也遠(yuǎn)未達(dá)到“靈活”控制的階段,更不用說(shuō)“游刃有余”的組裝原子。精密的定位和驅(qū)動(dòng)依賴致動(dòng)器(Actuator),而致動(dòng)器的最重要的核心之一為壓電材料。簡(jiǎn)單地說(shuō),這種材料具有極性,可通過(guò)外加電壓,獲得細(xì)微形變,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高精度驅(qū)動(dòng);反其道而行之,則可應(yīng)用于高精度的應(yīng)變、位移與定位的傳感器(Sensor)。此種天賦,使得致動(dòng)器已成為實(shí)現(xiàn)高精度定位的利器,并裝備于最前沿的儀器,如掃描隧道顯微鏡(STM)和透射電子顯微鏡(TEM)。通過(guò)這些“火眼金睛”,得以窺見原子,包括極小的硼和碳原子??梢哉f(shuō),壓電材料已成為人類探索微觀世界的“智能肌肉”。即使如此,如上所述,實(shí)現(xiàn)亞原子尺度的超高精度定位仍然極具挑戰(zhàn)。超薄壓電材料有望在解決這一問題上大展身手:用原子級(jí)尺寸的壓電材料,獲得亞原子分辨率的定位和驅(qū)動(dòng)。

  近日,中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所研究員張珽團(tuán)隊(duì)與新加坡南洋理工大學(xué)教授劉政團(tuán)隊(duì)合作,并聯(lián)合南京大學(xué)、新加坡科技局先進(jìn)制造研究所以及美國(guó)杜克大學(xué),通過(guò)五方全面合作,在該領(lǐng)域取得新進(jìn)展。研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)化學(xué)氣相沉積法,制備出高質(zhì)量硫化鎘(CdS)超薄納米片薄膜(厚度2-3納米,既3-5個(gè)晶格厚度)。并通過(guò)掃描探針顯微鏡等原位表征技術(shù),對(duì)硫化鎘超薄納米片材料的垂直方向壓電性能進(jìn)行了表征與系統(tǒng)研究,發(fā)現(xiàn)超薄硫化鎘納米片在垂直方向具有3倍于體相材料的巨大壓電常數(shù)(~33pm/V),并且理論模擬很好地驗(yàn)證了這個(gè)結(jié)論。這些結(jié)果為構(gòu)筑超高精度的驅(qū)動(dòng)器及新型高靈敏壓力、位移和應(yīng)變傳感器奠定了重要的理論與實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)。

  從某種程度上說(shuō),儀器的精度決定了人類對(duì)物質(zhì)世界的認(rèn)知極限,其中高精度的壓電材料不可或缺。為一窺原子,需要利用壓電材料在亞原子精度上移動(dòng)探針;為驗(yàn)證小尺度下萬(wàn)有引力的平方反比關(guān)系,需要對(duì)實(shí)驗(yàn)部件精確定位感知;甚至為了“傾聽”黑洞的合并瞬間釋放出的響徹宇宙的引力波,需要對(duì)無(wú)數(shù)元件嚴(yán)絲合縫的組裝定位驅(qū)動(dòng),消除哪怕一絲一毫的機(jī)械偏差。這一切,壓電材料功不可沒。短期來(lái)說(shuō),高性能的超薄壓電材料對(duì)于制造高精度傳感器、先進(jìn)機(jī)電元件大有裨益,包括降低尺寸,增加集成度,改造為柔性電子器件等。長(zhǎng)遠(yuǎn)而言,超薄壓電材料甚至可以改變?nèi)祟悓?duì)世界的認(rèn)知。


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