東微電子自研光刻機核心零件通過中芯國際和長鑫存儲認證
8月7日消息,日前,河南東微電子材料有限公司(以下簡稱"東微電子")宣布,其自主研發(fā)的光刻機用直線電機、光源、光纖、磁座等關鍵零部件,正式通過中芯國際和長鑫存儲嚴格認證。
發(fā)表于:8/8/2025 9:53:20 AM
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發(fā)表于:8/8/2025 9:35:28 AM
8月7日消息,日前,河南東微電子材料有限公司(以下簡稱"東微電子")宣布,其自主研發(fā)的光刻機用直線電機、光源、光纖、磁座等關鍵零部件,正式通過中芯國際和長鑫存儲嚴格認證。
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