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上海“十四五”規(guī)劃:發(fā)展三大先導產(chǎn)業(yè),2025年突破光刻設備!

2021-07-15
來源:快科技

作為國內半導體行業(yè)的重鎮(zhèn),日前上海方面印發(fā)了《上海市先進制造業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》的通知,其中提到要著力發(fā)展三大先導產(chǎn)業(yè)(集成電路、生物醫(yī)藥、人工智能)。

在集成電路方面,通知要求集成電路產(chǎn)業(yè)以自主創(chuàng)新、規(guī)模發(fā)展為重點,提升芯片設計、制造封測、裝備材料全產(chǎn)業(yè)鏈能級。

通知也針對芯片設計、制造封測及裝備材料三個領域提出了明確的要求。

其中芯片設計方面,應加快突破面向云計算、數(shù)據(jù)中心、新一代通信、智能網(wǎng)聯(lián)汽車、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等領域的高端處理器芯片、存儲器芯片、微處理器芯片、圖像處理器芯片、現(xiàn)場可編程邏輯門陣列芯片(FPGA)、5G核心芯片等,推動骨干企業(yè)芯片設計能力進入3nm及以下,打造國家級電子設計自動化(EDA)平臺,并能支持新型指令集、關鍵核心IP等形成市場競爭力。

制造封測方面,通知要求加快先進工藝的研發(fā),能支持12英寸先進工藝生產(chǎn)線建設和特色工藝產(chǎn)線建設,爭取產(chǎn)能倍增,從而加快第三代化合物半導體的發(fā)展;發(fā)展晶圓級封裝、2.5D/3D封裝、柔性基板封裝、系統(tǒng)封裝等先進封裝技術。

針對半導體設備及材料,通知要求加強裝備材料創(chuàng)新發(fā)展,突破光刻設備、刻蝕設備、薄膜設備、離子注入設備、濕法設備、檢測設備等集成電路前道核心工藝設備;提升12英寸硅片、高端掩膜板、光刻膠、濕化學品、電子特氣等基礎材料產(chǎn)能和技術水平,強化本地配套能力。

此外,充分發(fā)揮張江實驗室、國家集成電路創(chuàng)新中心等“1+4”創(chuàng)新體系的引領作用,加強前瞻性、顛覆性技術研發(fā)和布局,聯(lián)合長三角開展產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)作。加快建設上海集成電路設計產(chǎn)業(yè)園、東方芯港、電子化學品專區(qū)等特色產(chǎn)業(yè)園區(qū)載體,引進建設一批重大項目。

最終到2025年,上海基本建成具備自主發(fā)展能力、具有全球影響力的集成電路創(chuàng)新高地。




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