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??? 美國明尼阿波利斯(2008年11月)--全球領先的微電子制造表面處理和顯微光刻設備供應商FSI國際有限公司(納斯達克:FSII),日前宣布再次收到POLARIS?顯微光刻系統(tǒng)訂單,該訂單來自一家領先的砷化鎵" title="砷化鎵">砷化鎵(GaAs)器件代工廠" title="代工廠">代工廠。這一訂單代表了GaAs客戶數(shù)量不斷增長的趨勢,他們選用POLARIS,緣于該系統(tǒng)的卓越性能加上公司在敏感砷化鎵底材處理方面的15年經(jīng)驗。
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??? “隨著寬帶無線" title="寬帶無線">寬帶無線和有線通信市場器件制造商數(shù)量的快速增長,我們感受到他們對POLARIS系統(tǒng)興趣的不斷提升,”FSI董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道?!癙OLARIS產(chǎn)品的靈活性允許我們的客戶在同一系統(tǒng)上處理多種尺寸的GaAs和氮化鎵(GaN)底材,而無需更換硬件或軟件。這種可同步處理多種晶圓" title="晶圓">晶圓尺寸的能力在不影響工藝性能的同時,將靈活性提高到更高水平?!?/FONT>
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??? 預計寬帶無線和有線通信器件供應商的訂單將有所增長,F(xiàn)SI將重點放在進一步擴展這一重要市場。
FSI POLARIS顯微光刻系統(tǒng)可為尺寸在100mm 和300mm之間的晶圓提供附著劑和光阻涂布、烘干、冷卻和工藝開發(fā)。POLARIS 系統(tǒng)以其龐大的安裝量,為包括薄膜磁頭、生醫(yī)設備以及GaAs在內的多種應用和行業(yè)提供服務。此外,公司推出的支持服務包括了產(chǎn)品及工藝的提升,從而延長已安裝的FSI設備的使用壽命" title="使用壽命">使用壽命,使全世界客戶的資本投資獲得更高的回報。
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??? FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設備技術及支持服務的全球性的供應商。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學等一整套清洗技術產(chǎn)品,客戶能夠實現(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標。公司推出的支持服務項目包括了產(chǎn)品及工藝的提升,從而延長已安裝的FSI設備的使用壽命,使世界范圍內的客戶的資本投資獲得更高的回報。
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??? FSI國際有限公司全球網(wǎng)站:http://www.fsi-intl.com.