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论韩国半导体设备发展,寻中国解决之道

2018-07-08
關(guān)鍵詞: 半导体设备 三星Display 晶圆

韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)原本由美國(guó)及日廠獨(dú)占,在韓國(guó)政府大力推動(dòng)下,在韓國(guó)產(chǎn)業(yè)界的的扶持下,過(guò)去大部份依賴進(jìn)口的半導(dǎo)體核心設(shè)備正迅速國(guó)產(chǎn)化以替代進(jìn)口產(chǎn)品。

 

根據(jù)韓國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì),1993年時(shí)韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)比例僅8%,2007年提升至20%,2015年時(shí)已來(lái)到約30%,2017年達(dá)到33%。由此說(shuō)明韓國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化已逐漸有成效。

 

眾所周知,韓國(guó)在半導(dǎo)體業(yè)有三星半導(dǎo)體和SK海力士,在面板業(yè)有全球TOP2的三星Display和LG Display。韓國(guó)的設(shè)備廠商依靠這四大客戶,迅速崛起。很多原本只做面板設(shè)備的公司在三星和SK海力士的支持下,迅速進(jìn)軍半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,并取得了不錯(cuò)的成績(jī)。韓國(guó)有很多設(shè)備廠商既做半導(dǎo)體設(shè)備也做面板設(shè)備。


SK海力士在2004年改造的12寸晶圓廠M10中大量采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備,被稱為國(guó)產(chǎn)設(shè)備示范廠。而三星更是與眾多設(shè)備廠商聯(lián)合開發(fā),但是三星要求設(shè)備公司不得供應(yīng)給SK海力士和LG顯示。

 

設(shè)備國(guó)產(chǎn)化可以節(jié)約設(shè)備采購(gòu)成本,并降低對(duì)進(jìn)口的依賴等。目前韓國(guó)在刻蝕、沉積、勻膠、熱處理、離子注入、去膠、研磨、量測(cè)、濕法等領(lǐng)域都取得了不錯(cuò)的成績(jī)。


事實(shí)上中國(guó),中國(guó)現(xiàn)在有中芯國(guó)際、華虹宏力、華潤(rùn)微等半導(dǎo)體大廠,還有長(zhǎng)電科技、華天科技 、通富微電等全球知名的封裝廠,也有京東方、天馬、華星光電等面板廠,應(yīng)該與眾多設(shè)備廠商聯(lián)合攻關(guān),大量驗(yàn)證,必將加速我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的進(jìn)程。


目前國(guó)內(nèi)設(shè)備公司都還很弱小,超過(guò)10億元的設(shè)備公司不多,是否該進(jìn)行整合?;蛘叽蛟熘形雽?dǎo)體和沈陽(yáng)拓荊模式,聯(lián)合攻關(guān),上下游互補(bǔ)。


不過(guò),隨著工藝的發(fā)展,半導(dǎo)體設(shè)備的試錯(cuò)成本大增。所以我們可以借鑒三星的經(jīng)驗(yàn),投資入股,成為設(shè)備公司的股東。和三星相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備公司有細(xì)美事、盛帆、元益IPS、首爾精密。而國(guó)內(nèi)好像還沒看到有類似情況。


不過(guò),三星、SK海力士都是IDM廠,在存儲(chǔ)器領(lǐng)域具有完全的發(fā)言權(quán),對(duì)設(shè)備的選型具有操作性。


所以說(shuō),目前國(guó)內(nèi)有大咖主張IDM(注:此IDM絕不是CIDM)的模式也許能解決我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的進(jìn)程。


筆者人微言輕,歡迎拍磚。下面我們還是看看韓國(guó)主要的17家設(shè)備供應(yīng)商。


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1、阿帕控股

1994年成立,2017年3月,阿帕系統(tǒng)分拆并轉(zhuǎn)變?yōu)榭毓晒靖⑴量毓伞?/p>

阿帕控股旗下有阿帕系統(tǒng)、數(shù)字設(shè)備整體方案、科林自動(dòng)化、珍界和未來(lái)檢測(cè)。

阿帕系統(tǒng):半導(dǎo)體、面板;激光退火、激光剝離;

數(shù)字設(shè)備整體方案:檢測(cè)設(shè)備;

科林自動(dòng)化:自動(dòng)化控制;

珍界:半導(dǎo)體面板設(shè)備洗凈;

未來(lái)檢測(cè):缺陷檢測(cè)和計(jì)量。

 

2、查姆工程

1973年成立;半導(dǎo)體及面板、太陽(yáng)能、PCB設(shè)備供應(yīng)商。半導(dǎo)體設(shè)備有刻蝕、PECVD設(shè)備等。

 

3、迪麥思

1999年成立,主要的產(chǎn)品有清洗設(shè)備、濕法刻蝕設(shè)備等等,可用于半導(dǎo)體和面板。

 

4、伊歐科技

1989年成立,半導(dǎo)體、面板、PCB設(shè)備供應(yīng)商,產(chǎn)品有清洗設(shè)備、退火設(shè)備、切割設(shè)備、晶圓打標(biāo)設(shè)備等。


5、有進(jìn)科技

2000年成立,主要供應(yīng)半導(dǎo)體沉積設(shè)備如LPCVD、ALD設(shè)備,三星電子和SK海力士都是其主要客戶。

 

6、韓密半導(dǎo)體

1980年成立,產(chǎn)品幾乎覆蓋整個(gè)半導(dǎo)體封裝產(chǎn)線,也涉及面板及太陽(yáng)能領(lǐng)域的設(shè)備。

1980年Han-Mi Mold & Tool Co.成立;2002年更為現(xiàn)名。

 

7、周星工程

1995年成立;周星工程基于創(chuàng)造和創(chuàng)新理念,通過(guò)不懈的挑戰(zhàn)和創(chuàng)新精神,以及先進(jìn)的開發(fā)技術(shù),在半導(dǎo)體設(shè)備、顯示器、光伏電池、照明設(shè)備等領(lǐng)域取得了舉世矚目的成果。

半導(dǎo)體設(shè)備有ALD、CVD、ETCH設(shè)備等等。

 

8、慶昌科技

1987年2月成立;半導(dǎo)體及面板設(shè)備供應(yīng)商,生產(chǎn)半導(dǎo)體CMP設(shè)備和濕法清洗設(shè)備。配合CMP設(shè)備,還設(shè)有半導(dǎo)體材料事業(yè)部供應(yīng)CMP研磨液。

2014年成功國(guó)產(chǎn)化CMP設(shè)備,市占率迅速提升,現(xiàn)在在韓國(guó)擁有超過(guò)10%的市占率。

 

9、洛特真空

2002年成立,韓國(guó)最大的干泵廠商,產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體,面板,太陽(yáng)能甚至用于核工業(yè)及一般產(chǎn)業(yè)。

 

10、帕斯科

1990年成立,主要產(chǎn)品是等離子清洗設(shè)備,可用于晶圓級(jí)封裝,半導(dǎo)體制造中的硅膠剝離及刻蝕工藝,硅膠剝離領(lǐng)域全球第一。

 

 11、細(xì)美事

 細(xì)美事是三星控股的子公司,是三星實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略的重要棋子。細(xì)美事的前身是成立1993年的KDNS,2005年更為現(xiàn)名。

細(xì)美事是韓國(guó)最大的泛半導(dǎo)體設(shè)備廠商,包括半導(dǎo)體前后道設(shè)備、面板設(shè)備以及潔凈室自動(dòng)化設(shè)備,主打產(chǎn)品包括清洗、刻蝕、勻膠設(shè)備。

2017年?duì)I業(yè)額約10.5億美元,排名全球第七,穩(wěn)居韓國(guó)第一的寶座。公司營(yíng)業(yè)額中有超過(guò)6成來(lái)自半導(dǎo)體設(shè)備。受益于三星的NAND產(chǎn)能的擴(kuò)充,細(xì)美事近兩年?duì)I收增幅較大。

 

12、盛帆工程

公司成立于1988年,由三星宇航工業(yè)旗下的自動(dòng)化部門分拆成立,致力于OLED和LCD、半導(dǎo)體、太陽(yáng)電池制造用核心裝備,推動(dòng)在韓國(guó)的本地化。同時(shí)也是一家自動(dòng)化設(shè)備供應(yīng)商。

 

13、首爾精密

1998年成立,從國(guó)立首爾大學(xué)分離;泛半導(dǎo)體設(shè)備廠商,主要產(chǎn)品覆蓋LCD, OLED、太陽(yáng)能、半導(dǎo)體、光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域。2000年進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。2016年12月盛帆工程宣布收購(gòu)首爾精密的部分股權(quán)成為其最大股東。

 

14、特翋半導(dǎo)體

2002年成立;主要產(chǎn)品有半導(dǎo)體熱處理設(shè)備,面板熱處理設(shè)備,太陽(yáng)能MOCVD設(shè)備等。

 

15、泰軼斯

2002年9月成立;半導(dǎo)體及面板設(shè)備廠商,主要產(chǎn)品有半導(dǎo)體沉積設(shè)備(PECVD、LPCVD、MOCVD)、清洗,面板及太陽(yáng)能設(shè)備。同時(shí)供應(yīng)三星電子和SK海力士。

 

16、優(yōu)測(cè)

半導(dǎo)體設(shè)備廠商,主要產(chǎn)品有半導(dǎo)體后道測(cè)試設(shè)備,存儲(chǔ)器模組測(cè)試設(shè)備實(shí)力較強(qiáng)。

2000年成立ISOA TECH Inc.;2002年9月更名;

 

17、元益IPS

元益集團(tuán)旗下子公司,專注泛半導(dǎo)體設(shè)備制造,包括半導(dǎo)體、面板和太陽(yáng)能相關(guān)設(shè)備。主要產(chǎn)品有PECVD、ALD、刻蝕等。

公司前身是成立于1991年的Korea ATTO Engineering. Co., Ltd.,2005年IPS成為股東,2011年更為現(xiàn)名。

韓國(guó)三星為保證技術(shù)不泄密,也入股圓益IPS。


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