近日，英國(guó)南安普敦大學(xué)宣布，成功開(kāi)設(shè)了日本以外首個(gè)分辨率達(dá) 5 納米以下的尖端電子束光刻 (EBL) 中心，可以制造下一代半導(dǎo)體芯片。這也是全球第二個(gè)，歐洲首個(gè)此類電子束光刻中心。

據(jù)介紹，該電子束光刻中心采用了日本JEOL的加速電壓直寫(xiě)電子束光刻 (EBL) 系統(tǒng)，這也是全球第二臺(tái)200kV 系統(tǒng)（JEOL JBX-8100 G3）（第一臺(tái)在日本），其可以在 200 毫米晶圓上實(shí)現(xiàn)低于5納米級(jí)精細(xì)結(jié)構(gòu)的分辨率處理。這可以在厚至 10 微米的光刻膠中實(shí)現(xiàn)，且側(cè)壁幾乎垂直，可用于開(kāi)發(fā)電子和光子學(xué)領(lǐng)域研究芯片中的新結(jié)構(gòu)。JEOL的第二代EBL 設(shè)備——100kV JEOL JBX-A9 將計(jì)劃用于支持更大批量的 300 毫米晶圓。

目前JEOL的加速電壓直寫(xiě)電子束光刻系統(tǒng)（JEOL JBX-8100 G3）已經(jīng)安裝在了南安普頓大學(xué)蒙巴頓綜合大樓內(nèi)一個(gè)專門(mén)建造的 820 平方米潔凈室內(nèi)。

英國(guó)科學(xué)部長(zhǎng)帕特里克·瓦蘭斯勛爵 （Lord Patrick Vallance）表示：“英國(guó)是世界上一些最令人興奮的半導(dǎo)體研究的所在地，南安普敦的新電子束設(shè)施極大地提升了我們的國(guó)家能力。通過(guò)投資基礎(chǔ)設(shè)施和人才，我們?yōu)檠芯咳藛T和創(chuàng)新者提供了在英國(guó)開(kāi)發(fā)下一代芯片所需的支持?！?/p>

△南安普敦大學(xué)科學(xué)部長(zhǎng) Lord Vallance 勛爵、南安普敦大學(xué)校長(zhǎng) Mark E. Smith 教授、領(lǐng)導(dǎo)光電子研究中心 （ORC） 和 CORNERSTONE 的 Graham Reed 教授、日本Jeol CEO Osamu Wakimoto一起為該新設(shè)施揭幕。

“我們非常榮幸成為日本以外首個(gè)擁有這套新一代200千伏電子束光刻系統(tǒng)的機(jī)構(gòu)。南安普頓大學(xué)在電子束光刻領(lǐng)域擁有超過(guò)30年的經(jīng)驗(yàn)，”南安普頓大學(xué)馬丁·查爾頓教授說(shuō)道?！斑@將有助于推動(dòng)量子計(jì)算、硅光子學(xué)和下一代電子系統(tǒng)領(lǐng)域的發(fā)展。這套設(shè)備與我們現(xiàn)有的微加工設(shè)備套件相得益彰，使我們能夠研發(fā)和生產(chǎn)各種用于電子、光子學(xué)和生物納米技術(shù)的集成納米級(jí)器件?！?/p>

Graham Reed 教授補(bǔ)充道：“新電子束設(shè)施的引入將加強(qiáng)我們?cè)谟?guó)學(xué)術(shù)界擁有最先進(jìn)的潔凈室的地位。它促進(jìn)了大量創(chuàng)新和工業(yè)相關(guān)的研究，以及急需的半導(dǎo)體技能培訓(xùn)。”

一項(xiàng)新的研究表明，在英國(guó)蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè)中實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)的最大障礙之一是缺乏新興人才。一名半導(dǎo)體工人平均每年可以為英國(guó)經(jīng)濟(jì)貢獻(xiàn) 460,000 英鎊。

英國(guó)政府已經(jīng)推出了一項(xiàng)新的 475 萬(wàn)英鎊的半導(dǎo)體技能計(jì)劃，以幫助建立推動(dòng)這一高增長(zhǎng)行業(yè)所需的人才基礎(chǔ)。

該一攬子計(jì)劃還將有助于加強(qiáng)南安普敦等一流大學(xué)的研發(fā)能力，這些大學(xué)對(duì)英國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新和人才發(fā)展至關(guān)重要。

Vallance 勛爵補(bǔ)充道：“我們 475 萬(wàn)英鎊的技能計(jì)劃將通過(guò)幫助更多年輕人進(jìn)入高價(jià)值半導(dǎo)體職業(yè)、縮小技能差距并支持這一關(guān)鍵領(lǐng)域的增長(zhǎng)來(lái)支持我們的變革計(jì)劃?！?/p>